原理：

　　电阻蒸发是在真空条件下利用大电流通过蒸发舟加热所需要蒸发的材料，使其在高温下融化蒸发或升华，气化的材料向基板输运，在基底上凝结形成薄膜的方法。通过调节所加电流的大小，可以方便的控制镀膜材料的蒸发速率。通常适合熔点低于1500℃的金属薄膜的制备。

优势：

• 操作简单，设备购置成本低；

• 可定制各类专用蒸发舟，适于多种特殊材料的蒸发；

• 蒸发源体积小，可在同一个炉腔内配置多达10个蒸发源；

• 蒸发速率快，可实现批量生产；

• 适合搭配晶振控制器，精确控制薄膜生长。

用途：

　　主要应用在半导体、微电子、装饰、红外、生物、能源等领域。

我们的电阻系统：

　　维开可以为不同领域的客户提供多种电阻蒸发产品，可以选配各种蒸发舟，适合铟(Indium)、硫化锌(ZnS)、有机物蒸发工艺，还可以选配离子源实现离子束辅助沉积。