E550是维开科技开发的一款通用型电子束蒸发系统，功能强大，稳定可靠，自动化控制程度高，维护简单，可以满足中小批量生产需求和实验平台的一般性需求。

§ 不锈钢真空腔：550mm（宽）*800mm（高）

§ 均匀可镀区：最大5*?150mm

§ 镀膜均匀性：±2%

§ 极限真空度：1E-5Pa

§ 工件盘控温：室温至350℃

§ 电子枪功率：最大10千瓦

§ 坩埚数量：最多8个

§ 电阻蒸发源：可选配

§ 离子源：直流/射频

§ 膜厚监控：晶振控制器

§ 挂具类型：穹顶式/行星式/平盘/克努曾/自动翻转

§ 抽气系统：低温泵/磁悬浮分子泵+干式机械泵/普通机械泵

§ 真空检测：全量程真空规

§ 占地面积：1.5m（长）*1.5m（宽）*2.2m（高）

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