EP100是一款通用型皮尔斯电子枪蒸发系统，稳定可靠，维护简单，可以满足批量生产和研究开发的各类需求。

§ 真空工艺腔：1个不锈钢腔室

§ 真空进样室：1套独立手动样品进样腔室

§ 电子枪数量：可并联3至4套电子枪

§ 灯丝电流：120安培

§ 电子束流：3安培

§ 镀膜区域： ?500mm

§ 镀膜均匀性：±5%

§ 极限真空度：5E-4Pa

§ 工件盘控温：1200℃

§ 抽气系统：扩散泵+机械泵

§ 真空检测：全量程真空规

§ 流量控制：数字式质量流量计

§ 占地面积：3.0m（长）*1.5m（宽）*2.5m（高）

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