为方便客户，维开科技可为各科研院所和生产企业提供订制化金属、合金和陶瓷靶材及蒸发材料，并可提供靶材的绑定和成份检测服务。

§ 维开可提供的主要靶材类型

§ 氧化锌基靶材，纯度3N5/4N，单片尺寸300×150×30mm，可进行复合掺杂（B、Zr、Nb、Y、Yb、Ti、Ga、V、Cr等）

§ Al:ZnO靶材，纯度3N5，单片尺寸最大300×100×10mm，晶粒尺寸：＜20μm

§ NiCr靶材，纯度2N7/3N/3N5，平面靶，牌号：80/20,70/30, 60/40

§ CdS靶材，纯度3N5, 4N，平面靶

§ ITO靶材，纯度4N/4N5，平面靶/旋转靶，成份：90:10\95:5

§ Mo靶材，纯度3N5，平面靶/旋转靶，致密度：＞99%

§ 高纯Cr靶材，纯度2N5/3N5，平面靶/旋转靶，致密度＞99%

§ Ti靶材，纯度2N7/2N8/3N5，平面靶/旋转靶，致密度＞99%

§ 维开可提供的绑定服务

§ 背板材质：无氧铜背板/钼（Mo）背板/铝（Al）背板/钛（Ti）背板

§ 背面金属化：金属/合金/陶瓷靶材的背面金属化

§ 铟绑定：金属/合金/陶瓷靶材与背板的铟绑定

§ 导电胶粘接：金属/合金/陶瓷靶材与背板的导电胶粘接绑定

　　　焊合率＞95%。

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